芯片是半导体元件产品的统称,是集成电路的载体,由晶圆分割而成,一般是是计算机或其它电子设备的重要组成部分。

检测半导体BGA小球高度等参数,通过线共焦Focal传感器扫描BGA模组板,获取所有BGA小球3D点云,将3D数据导入图像处理软件中进行处理以检测高度等信息。

高精度晶圆检测(小微产品瑕疵缺陷检测方案)-机器视觉_视觉检测设备_3D视觉_缺陷检测

测试对象:半导体芯片封装 BGA小球

高精度晶圆检测(小微产品瑕疵缺陷检测方案)-机器视觉_视觉检测设备_3D视觉_缺陷检测

芯片是一种典型的集成电路(IC)芯片,它采用SMT(表面贴装技术)来提供高密度的连接。球分布在芯片的地面上,在芯片体积不变的情况下,可以增加球的数量。随着BGA引脚在半导体生产中的使用越来越多,对引脚高度、直径、偏移和缺失焊料进行检测的重要性也越来越高。

特点:

识别缺陷,如分层,划痕,或灰尘的表面或夹层玻璃,手机显示屏,和其他透明多层材料,如密封的医疗包装。可处理任何表面类型,包括镜面,有光泽的,不透明的透明的,半透明的,弯曲的,凸的,凹的,柔软的,易碎的,或多孔的。扫描和测量任何颜色组合的材料。

 

高精度晶圆检测(小微产品瑕疵缺陷检测方案)-机器视觉_视觉检测设备_3D视觉_缺陷检测

明显优势:

  • 可用于需要分辨率50nm的测量应用
  • 创新的离轴共焦设计提供了多层扫描(3D断层扫描)的扫描能力
  • 防止金属表面不必要的反射
  • 在弯曲边缘、透明和多层材料等具有挑战性的目标上可实现最佳性能

一句话总结就是:多层可扫,反光可扫,透明可扫,动静可扫

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